一种单晶硅片垂直清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201921861677.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210995605U | 公开（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申请公布号 | CN210995605U | 申请公布日 | 2020-07-14 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人 | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 曹佩佩 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区景贤路52号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅片垂直清洗装置，属于硅片超声波清洗设备技术领域，本实用新型包括清洗带、传送带、药水池和电机，清洗带底部有数个分布均匀的凹槽，凹槽底部设有多个超声波振子，清洗带的外围设置转动块和转动杆，通过转动块和转动杆旋转清洗带，使凹槽中的单晶硅片和药水落入传送带中，药水通过传送带上的网眼落入药水池中，而传送带将单晶硅片传送至出料口。本实用新型提供的单晶硅片垂直清洗装置结构简单，操作方便，维修成本低，解决了现有的清洗装置结构复杂，维修成本高，时间长，影响工作效率的问题。 |
