一种清洗剂及应用清洗剂清洗半导体硅片的方法
基本信息
| 申请号 | CN201911029424.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110804502A | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN110804502A | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | C11D1/72;C11D3/20;C11D3/60;C11D3/24;C11D3/39;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/60;C11D11/00;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12 | 分类 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛; |
| 发明人 | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人 | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼高潮 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区景贤路52号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有良好清洗效果的清洗剂，其包括：试剂一：体积比为3:1:2:3的丙二醇或异丙醇、壬基酚聚氧乙烯醚、反‑1,2‑二氯乙烯、去离子水混合溶液；试剂二：体积比为4:1的硫酸、双氧水混合溶液；试剂三：体积比为1:1:5的氢氧化铵、双氧水、去离子水混合溶液；试剂四：体积比为3:1:1000的氢氟酸、双氧水、去离子水混合溶液，本发明同时公开了一种应用上述清洗剂清洗半导体硅片的方法。 |
