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一种单晶硅片的边角磨削装置

基本信息

摘要

摘要	本实用新型涉及一种单晶硅片的边角磨削装置，其中包括机架、工作台和砂轮磨削组件，所述的工作台和砂轮磨削组件均设置于所述的机架上，且所述的砂轮磨削组件相对于工作台可前后移动，所述的工作台由基体和基体上的多个支架组成，每个支架和相邻支架之间设置一组可绕其中心轴旋转的夹紧组件。采用该种结构的单晶硅片的边角磨削装置，通过设置工作台以及上面的多个工位，一次上件可以设置多个单晶硅片，从而实现一次装件对多个工件进行加工，减少了工作人员的操作步骤，大大提高了加工效率，对于半导体、太阳能电池等行业的单晶硅片供给都有很重要的意义；并且整体产品结构简单，操作容易，具有更广泛应用范围。