一种硅晶片清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201921843890.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210995512U | 公开（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申请公布号 | CN210995512U | 申请公布日 | 2020-07-14 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人 | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 徐尔东 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区景贤路52号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型一种硅晶片清洗装置，包括清洗腔室以及底座，还包括清洗机构、转动机构、排水机构，其中：清洗机构包括进水装置以及若干喷水装置，进水装置通过软管与若干喷水装置连接，若干喷水装置等距固定安装在清洗腔室内腔顶部；转动机构包括转动轴、轴承以及若干卡框，若干卡框固定设在转动轴上，轴承设于转动轴两端且位于清洗腔室侧壁腔内；排水机构包括若干出水口、排水口、斜板，若干出水口设置在清洗腔室底部，斜板斜设在底座内及若干出水口下方，斜板尾端与底座侧壁连接处开设有排水口；本实用新型可以对硅晶片进行全方位清洗，且便于安装拆卸，整体结构简单，成本低。 |
