一种单晶硅片的清洗烘干装置
基本信息
| 申请号 | CN201911051124.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110841973A | 公开（公告）日 | 2020-02-28 |
| 申请公布号 | CN110841973A | 申请公布日 | 2020-02-28 |
| 分类号 | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;F26B15/12;F26B21/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人 | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 曹佩佩 |
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新吴区景贤街52号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶硅片的清洗烘干装置，包括顶部、红外感应装置、化学清洗池、物理清洁池和烘干室，顶部的下方从左至右依次是取片室、化学清洗池、物理清洁池、烘干室和封装室，顶部包括顶板、传送装置和伸缩装置，通过伸缩装置和红外感应装置，完成硅片在清洗烘干过程。本发明的单晶硅片的清洗烘干装置，装置简单，操作安全稳定，一次性完成单晶硅片的清洗烘干过程，提高了清洗和烘干效率，并且单晶硅片经过两种清洗方式后，达到了更好的清洗效果。 |
