一种锁紧装置及真空镀膜设备

基本信息

申请号 CN202122533353.6 申请日 -
公开(公告)号 CN216427386U 公开(公告)日 2022-05-03
申请公布号 CN216427386U 申请公布日 2022-05-03
分类号 C23C14/22(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 孙广大;李仕军;徐从高 申请(专利权)人 浙江生波智能装备有限公司
代理机构 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 石仁
地址 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路6号4幢(自主申报)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型的一种锁紧装置,包括底板支架,设于所述底板支架上的驱动机构,以及设于所述驱动机构上且与锁紧块配合的锁紧扣,所述驱动机构驱动所述锁紧扣移动至与锁紧块锁合的锁合位置,或驱动所述锁紧扣移动至解除对锁紧块锁合的解锁位置。本实用新型还提供了真空镀膜设备。本实用新型的一种锁紧装置,通过驱动机构调动锁定扣对锁紧块进行锁合或解除锁合,代替人工操作,可实现远程控制该锁紧装置的锁紧或开合,极大地提高工作效率及操作的安全性。