一种晶圆解胶装置
基本信息
| 申请号 | CN202121325407.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214898348U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214898348U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 巩铁建;陶为银;蔡正道;鲍占林 | 申请（专利权）人 | 河南通用智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州芝麻知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 乔俊霞 |
| 地址 | 450000河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆解胶装置，涉及晶圆解胶技术领域，具体为一种晶圆解胶装置，包括解胶光源主箱，所述解胶光源主箱的上方开设有解胶腔，所述解胶腔的周边开设有气囊槽，所述气囊槽的周边开设有电磁槽，所述气囊槽的内部设置有橡胶气囊，所述电磁槽的内部固定连接有电磁铁，所述解胶光源主箱的一侧固定连接有解胶控制箱，所述解胶光源主箱的上方铰接有解胶盖，所述解胶盖的上方固定连接有加强框。通过解胶盖和照明光源总成的配合设置，使该晶圆解胶装置具备了解胶腔内光源充足且不晃眼的效果，通过橡胶气囊、电磁铁、解胶盖和永久磁铁片的配合设置，使该晶圆解胶装置具备了解胶盖的重量轻且密封性好的效果。 |
