一种晶圆托盘
基本信息
| 申请号 | CN202121312310.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214848535U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214848535U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 巩铁建;陶为银;蔡正道;张伟 | 申请（专利权）人 | 河南通用智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州芝麻知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 乔俊霞 |
| 地址 | 450000河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆托盘，涉及半导体制造技术领域，具体为一种晶圆托盘，包括托盘本体，所述托盘本体的顶部分别固定连接有支撑杆和配合块，所述支撑杆的顶部通过轴杆转动连接有条形块。该晶圆托盘，通过支撑杆、条形块、圆块、固定块、电动液压推杆、连接杆、圆杆、小球和垫块的设置，使该晶圆托盘具备了方便对晶圆进行固定的效果，在使用的过程中电动液压推杆的活动端伸出，使圆块在条形槽的内部移动，使条形块转动，使小球与放置在垫块上的晶圆抵接，限制晶圆的位置，且小球和垫块的材质均为橡胶，避免压坏晶圆，从而起到了方便对晶圆进行固定的作用，达到了方便对晶圆进行固定的目的。 |
