一种晶圆定位装置
基本信息
| 申请号 | CN202121304407.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214848577U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214848577U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蔡正道;陶为银;巩铁建;乔赛赛 | 申请（专利权）人 | 河南通用智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州芝麻知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 乔俊霞 |
| 地址 | 450000河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆定位装置，涉及晶圆生产设备技术领域，包括安装块和定位块，滑动杆的上端固定连接有压缩弹簧，转动杆远离滑动杆的一端通过转轴转动连接有滑动块，固定轴的外表面转动连接有拨杆，滑动轴的一端与滑动杆固定连接，限位块的一侧面固定连接有缓冲弹簧，导轨的中部插接有顶块，螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块。本实用新型通过设置拨杆、固定轴、传动槽、滑动轴、滑动杆、压缩弹簧、转动杆和滑动块，该机构可使得对晶圆的装夹更加方便快捷，可在一定程度上提高工作效率，通过设置固定块、螺纹杆、顶块、固定块、缓冲弹簧和限位块，该机构最终实现对晶圆的防护，防止在装夹时对晶圆造成损坏或变形。 |
