激光加工晶圆连续供料系统
基本信息
| 申请号 | CN202021701306.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215238668U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215238668U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | B23K26/70（2014.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 陶为银;巩铁建 | 申请（专利权）人 | 河南通用智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州中原专利事务所有限公司 | 代理人 | 张春 |
| 地址 | 450001河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种激光加工晶圆连续供料系统，包括机架，机架上设置将晶圆托盘从机架上的晶圆储料盒转运到切割平台的加工转运位的连续供料系统，连续供料系统包括直线转运机构、转动转运机构；直线转运机构下方转运位设置可以存放晶圆托盘的托料架；直线转运机构将晶圆托盘在晶圆储料盒的夹持位和转运位之间转换；转动转运机构使晶圆托盘在转运位和切割平台上的加工转运位之间转换。设置滑块位移传感器检测晶圆托盘前后方向是否到位。检测到位后，夹持气缸开始动作进行夹持，夹持板位移传感器检测到下夹持板的上下位置是否到位从而准确的夹持晶圆托盘。托料导轨间距可调，适应不同规格晶圆托盘的存储需要。 |
