适用于检测装载晶圆料盒的调节装置
基本信息
| 申请号 | CN201811043998.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109273384B | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN109273384B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 顾春华;凌俭波;王华;王斌;叶建明;季海英 | 申请（专利权）人 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 徐颖 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种适用于检测装载晶圆料盒的调节装置，包括左右两个对称钢制加紧臂、两根相同弹簧和调节矩形块，调节矩形块分上下两层，下层为硬质固体，上层为软质固体，调节矩形块的硬质固体左右两端分别通过两根弹簧接两个加紧臂底部，未使用时，硬质固体和两根弹簧处于同一水平线上，两个加紧臂上部夹部拉开夹在料盒底筋上时，调节矩形块正好抵住料盒底筋。通过在任何厂家的硅晶片料盒的底部加本发明调节装置，可通用各种型号的探针台设备。减少了换硅晶片料盒换硅晶片步骤、节省了时间，提高了产能。 |
