一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201811472063.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109848798B | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN109848798B | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | B24B19/14;B24B41/04;G01R1/067;G01R31/28 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王玉龙;王华;凌俭波;马健;王锦;叶建明 | 申请（专利权）人 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 范海燕 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元；本发明提供的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，通过对探针台放置cleaningunit的底座结构进行改造，做成抽屉式柱状体，来达到可以存放多个cleaningunit的目的，多个cleaningunit上可以放置不同的砂纸类型，方便随时更换进行实验对比。 |
