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一种WAFER片频率自动分选机

基本信息

申请号 CN202110537289.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113083742A 公开（公告）日 2021-07-09
申请公布号 CN113083742A 申请公布日 2021-07-09
分类号 B07C5/344（2006.01）I;B07C5/02（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I 分类 将固体从固体中分离；分选;
发明人 李天宝;汪晓虎;谢凡;孔林峰;朱成 申请（专利权）人 随州泰华电子科技有限公司
代理机构 随州市恒智启创知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 何斌
地址 441300湖北省随州市经济开发区深圳工业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种WAFER片频率自动分选机，包括机架，机架上设置有工作台，工作台上一侧摆放有物料盒，工作台上还设置有频率测试装置，物料盒旁设置有晶圆取料机械臂，工作台上设置有一条与物料盒呈垂直关系的导轨，导轨位于工作台一端边缘，导轨上设置有晶圆移动装置，导轨内侧沿导轨方向依次设置有进口晶圆校正装置、测试平台和出口晶圆校正装置，三者均与导轨平行，出口晶圆校正装置处设置有与其垂直的收纳盒，收纳盒旁设置有与晶圆取料机械臂结构相同的晶圆放料机械臂，测试平台前方设置有频率测试装置。