一种利用真空吸嘴的石英晶体移载装置

基本信息

申请号 CN202021815414.7 申请日 -
公开(公告)号 CN213140557U 公开(公告)日 2021-05-07
申请公布号 CN213140557U 申请公布日 2021-05-07
分类号 B65G47/91(2006.01)I 分类 -
发明人 喻信东;李天宝;汪晓虎;谢凡;鲁壑;崔婷婷 申请(专利权)人 随州泰华电子科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 441300湖北省随州市曾都经济开发区交通大道1131号
法律状态 -

摘要

摘要 一种利用真空吸嘴的石英晶体移载装置,包括机架,所述机架顶部连接有竖直向下的导向柱,导向柱上从上至下依次套接有固定法兰、吸附圆盘和破真空密封固定件,吸附圆盘外缘上均匀分布有垂直于导向柱的真空吸嘴,机架底部设置有电磁阀,电磁阀、真空转换接头、破真空密封固定件和吸附圆盘之间通过真空管形成连通的气路,破真空密封固定件内设置有与真空吸嘴个数对应的气孔,每个气孔通过真空管与真空吸嘴连接形成一个管路。