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一种MEMS光刻音叉晶体振子频率测试探针卡

基本信息

申请号 CN202022525570.6 申请日 -
公开（公告）号 CN213581075U 公开（公告）日 2021-06-29
申请公布号 CN213581075U 申请公布日 2021-06-29
分类号 G01R1/073（2006.01）I;G01R23/02（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 谢凡;黄大勇;汪晓虎;张小伟;詹超 申请（专利权）人 随州泰华电子科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 441300湖北省随州市随州经济开发区深圳工业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种MEMS光刻音叉晶体振子频率测试探针卡，其组成包括PCB电路板，其特征在于：所述PCB电路板的中上部呈扇形均匀设置有多个连接点一，所述PCB电路板的中下部正中位置横向均匀设置有多个连接点二，所述连接点二的下方设置有探针区，所述探针区内均匀固定安装有多个探针，所述连接点一、连接点二和探针从左至右一一对应且相互连通，所述连接点一处焊接有连接线，所述PCB电路板的底部两端对称设置有定位孔。本实用新型通过PCB电路板将探针和连接线集成到一个电路板上，集成度更高，使用更方便，检测效率也更高。