一种提高硬质涂层与基材结合力的装置及工艺
基本信息
| 申请号 | CN201811250029.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109055901A | 公开（公告）日 | 2018-12-21 |
| 申请公布号 | CN109055901A | 申请公布日 | 2018-12-21 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘伟;马槽伟 | 申请（专利权）人 | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 116600 辽宁省大连市经济技术开发区铁山西路3-1号-A、B | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的提高物理气相沉积硬质涂层与基材结合力的装置和工艺，在原有物理气相沉积装置基础上，该装置由嵌入真空室腔壁的柱状弧源或平面弧源和置于其前面距离、位置可调的挡板，以及相应的独立供电电源组成。通过调整弧源、挡板、悬挂基材转架及真空室壁之间的电位，实现对弧源发射的等离子体及其所离化工作气体离子的分离、运动的有效控制，实现电子轰击加热、气体离子或弧源金属离子刻蚀清洗及金属离子注入，之后接续硬质涂层的物理气相沉积，本装置及工艺能够使基材表面清洗更加彻底，调控基材表面粗糙度，活化基材表面，有效提高了刀具、模具、机械关键零部件和锁具等产品表面硬质防护涂层与基体的结合力。 |
