一种电弧引弧机构
基本信息
| 申请号 | CN201821738431.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209307477U | 公开（公告）日 | 2019-08-27 |
| 申请公布号 | CN209307477U | 申请公布日 | 2019-08-27 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 侯玉萍 | 申请（专利权）人 | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 116600 辽宁省大连市经济技术开发区东北七街13号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种电弧引弧机构，气缸安装于气缸座上部，气缸杆贯穿气缸座中心孔，气缸座下侧位于气缸杆外部设有波纹管，波纹管下端连接引弧针杆，引弧针杆上安装引弧针。本实用新型的电弧引弧机构，采用波纹管密封形式，将气缸杆与真空环境隔离，气缸杆处于大气中，不受粉尘影响，可长时间持续工作，大大提高了生产效率；并且引弧针的位置可以在镀膜的过程中随着靶材的消耗进行相应的调整，提高了靶材的利用率，节省了生产成本。 |
