一种DLC涂层沉积设备
基本信息
| 申请号 | 2020210575152 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212375360U | 公开（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申请公布号 | CN212375360U | 申请公布日 | 2021-01-19 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘成斌;黄明章 | 申请（专利权）人 | 东莞市普拉提纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市启信展华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冯蓉 |
| 地址 | 523000广东省东莞市长安镇厦岗社区江南西街9号二楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种DLC涂层沉积设备，包括炉体、管道、抽风机、炉门和送风机，所述炉体一侧的外壁上安装有炉门，且炉门的一端与炉体相铰接，并且炉门一侧的炉体内部安装有加热管，所述加热管的一端与炉体内壁相铰接，且加热管一侧的炉体内部安装有铜棒，并且铜棒的两端皆与炉体内壁固定连接，所述铜棒的外壁上设有辅助阳极，且辅助阳极一侧的炉体内部设有转架车，并且转架车的两端皆与炉体内壁固定连接，所述转架车一侧的炉体内部安装有两组靶座，且靶座的一端延伸至炉体的内部，并且靶座的内部设有驱动机构。本实用新型不仅实现了沉积设备高效快速的沉积涂层，解决了DLC打底需要磁控溅射的问题，而且提高了含碳气体的离化率。 |
