III族氮基半导体封装结构及其制造方法

基本信息

申请号 CN202180000921.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113169150B 公开(公告)日 2022-06-14
申请公布号 CN113169150B 申请公布日 2022-06-14
分类号 H01L23/495(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 邱尚青;张雷;曹凯;黄敬源 申请(专利权)人 英诺赛科(苏州)半导体有限公司
代理机构 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 215211江苏省苏州市吴江区汾湖高新开发区新黎路98号
法律状态 -

摘要

摘要 一种III族氮基半导体封装结构,包括引线架、黏着层、III族氮基晶粒、封装材料和至少一接合线。引线架包括管芯座和引线。管芯座具有设置在管芯座的顶面中的第一和第二凹槽。第一凹槽位于顶面的相对中心区域附近。第二凹槽位于顶面的相对外围区域附近。从俯视观之,第一凹槽具有与第二凹槽不同的形状。黏着层设置在管芯座上以填充到第一凹槽中。III族氮基晶粒设置在黏着层上。封装材料封装引线架和III族氮基晶粒。第二凹槽填充有封装材料。接合线被封装材料封装。