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一种芯片测试探针台防打火装置

基本信息

申请号 CN202023172851.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214310595U 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN214310595U 申请公布日 2021-09-28
分类号 G01R1/02（2006.01）I;F17D1/00（2006.01）I;F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D3/18（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 徐明星;夏冬生;张朝奇;马齐营 申请（专利权）人 山东芯诺电子科技股份有限公司
代理机构 青岛发思特专利商标代理有限公司 代理人 卢登涛
地址 272100山东省济宁市兖州区兖颜路路北（天齐庙村村西）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种芯片测试探针台防打火装置，属于半导体电子元器件制造技术领域，包括氮气、浮子流量计、通气管和洗气瓶，所述氮气通过浮子流量计和通气管通入洗气瓶中，洗气瓶中盛装有全氟聚醚油，使用氮气促进全氟聚醚油挥发成气体，所述洗气瓶的外部联接有出气管，通过出气管将挥发的气体分送至各探针台管道中。本装置使用氮气促进全氟聚醚油挥发，将挥发后气体由氮气输送至点测机台使点测芯片全部被全氟聚醚油气体覆盖杜绝集中电场电离现象，本装置能够为测试时每颗芯片提供全氟聚醚油气体氛围，增加生产效率，满足了生产需求，提高了产量。利用本装置进行芯片测试其效果完全满足测试要求。