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一种半导体晶圆快速贴膜台

基本信息

申请号 CN202021417188.7 申请日 -
公开（公告）号 CN213026053U 公开（公告）日 2021-04-20
申请公布号 CN213026053U 申请公布日 2021-04-20
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李凤丽 申请（专利权）人 泰州芯格电子科技有限公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 邓凌云
地址 225500江苏省泰州市姜堰区罗塘街道南环西路1001号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体晶圆快速贴膜台，包括贴膜装置本体，贴膜装置本体的顶部安装有工作台，工作台的四个拐角处均安装有第二液压缸，第二液压缸的顶部安装有顶板，顶板的底端中部安装有第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆的底部安装有压板，顶板的底部安装有玻璃外罩，玻璃外罩的底部安装有密封垫，玻璃外罩的内部一侧安装有膜带释放装置，玻璃外罩的内部另一侧安装有膜带收缴装置，工作台的顶部两侧均设有伸缩杆安装槽，该贴膜台整体稳定性能强，可以快速移动到合适的位置，灵活性强，可以快速对半导体晶圆进行固定，可以实现自动贴膜，可以对半导体晶圆上的灰尘进行清理，贴膜的时候还能提供照明，便于操作者使用。