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一种晶圆片湿式切割用划片机

基本信息

申请号 CN201821865428.2 申请日 -
公开（公告）号 CN209478632U 公开（公告）日 2019-10-11
申请公布号 CN209478632U 申请公布日 2019-10-11
分类号 B28D5/00;B28D7/00;B24C1/04;B24C3/00;B24C5/02;B24C7/00 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 李凤丽 申请（专利权）人 泰州芯格电子科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225500 江苏省泰州市姜堰区罗塘街道南环西路1001号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆片划片技术领域，且公开了一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体，所述划片机机体的顶部固定安装有第一滑轨，所述第一滑轨的顶部活动安装有第二滑轨，所述第二滑轨的顶部活动安装有第一滑块，所述第一滑块的顶部固定安装有工作台。该晶圆片湿式切割用划片机，通过液压缸的伸缩运动，可以带动固定杆运动，从而带动第二滑块左右运动，进而带动超高压水射流发生器左右运动，完成划片动作，通过超高压水射流发生器，可以使得水高速通过水喷头排出，形成水刀，对晶圆片进行划片工作，采用这种湿式切割的方式划片，精度更高，并且无污染，同时不会产生高温，有一定的保护作用。