制备多晶硅用铸锭炉

基本信息

申请号 CN200620031881.4 申请日 -
公开(公告)号 CN200968773Y 公开(公告)日 2007-10-31
申请公布号 CN200968773Y 申请公布日 2007-10-31
分类号 F27B14/08(2006.01) 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 高文秀 申请(专利权)人 南阳迅天宇硅品有限公司
代理机构 郑州联科专利事务所 代理人 上海普罗新能源有限公司;南阳迅天宇硅品有限公司
地址 200092上海市虹口区赤峰路501弄2号302
法律状态 -

摘要

摘要 制备多晶硅用铸锭炉,包括置于中间的铸锭坩埚,坩埚外扣设加热罩,加热罩外扣设与其联接的保温罩,坩埚底部设有水冷却循环系统,加热罩中自下而上设有分层加热元件。加热罩中自下而上设有侧面五层、顶面一层共六层加热元件。坩埚底部或/和保温罩顶部设有升降机构。本实用新型可实现对硅水的均匀加热和定向匀速冷却。