制备多晶硅用铸锭炉
基本信息
申请号 | CN200620031881.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN200968773Y | 公开(公告)日 | 2007-10-31 |
申请公布号 | CN200968773Y | 申请公布日 | 2007-10-31 |
分类号 | F27B14/08(2006.01) | 分类 | 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕; |
发明人 | 高文秀 | 申请(专利权)人 | 南阳迅天宇硅品有限公司 |
代理机构 | 郑州联科专利事务所 | 代理人 | 上海普罗新能源有限公司;南阳迅天宇硅品有限公司 |
地址 | 200092上海市虹口区赤峰路501弄2号302 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 制备多晶硅用铸锭炉,包括置于中间的铸锭坩埚,坩埚外扣设加热罩,加热罩外扣设与其联接的保温罩,坩埚底部设有水冷却循环系统,加热罩中自下而上设有分层加热元件。加热罩中自下而上设有侧面五层、顶面一层共六层加热元件。坩埚底部或/和保温罩顶部设有升降机构。本实用新型可实现对硅水的均匀加热和定向匀速冷却。 |
