一种研磨助剂、制备方法、用途及研磨液和研磨方法
基本信息
| 申请号 | CN202111393851.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113930165A | 公开（公告）日 | 2022-01-14 |
| 申请公布号 | CN113930165A | 申请公布日 | 2022-01-14 |
| 分类号 | C09G1/02（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 侯军;李传强 | 申请（专利权）人 | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京至臻永信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭晓玲;张宝香 |
| 地址 | 324012浙江省衢州市杜鹃路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种碳化硅单晶衬底研磨助剂，其包括羧基改性多糖类化合物、膨润土凝胶和抗吸附剂，以及任选的分散剂、保湿剂、pH调节剂、消泡剂、防锈剂和去离子水，还涉及其制备方法、用途、包含其的研磨液及研磨方法，所述研磨液通过各个组份的选择和复配，尤其是通过包括所述研磨助剂，从而具有了诸多有益且优异的技术效果，可用于碳化硅单晶衬底的研磨工序处理，在半导体加工领域具有潜在的巨大应用前景和潜力。 |
