一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111429620.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114086259A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114086259A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | C30B33/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;H01L31/0236（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 侯军;张洁 | 申请（专利权）人 | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连星海专利事务所有限公司 | 代理人 | 杨翠翠 |
| 地址 | 324012浙江省衢州市杜鹃路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种无醇型两亲性制绒添加剂及其制备方法，其属于单晶硅表面处理的技术领域。该添加剂包括多糖、表面活性剂和无机碱，但是不含有醇类，是无醇型的两亲性制绒添加剂。多糖吸附于单晶硅表面，在溶液中可有效降低表面张力，吸附在硅片表面作为腐蚀反应的起始点，为制绒腐蚀提供成核位点。多糖吸附于硅片表面，帮助制绒过程中产生的氢气及时脱离硅片表面，避免“漂片”或产生气泡印进而导致制绒不均匀。表面活性剂通过与多糖缔合解决多糖的高温析出问题，得到兼具良好吸附性与溶液稳定性的添加剂。该添加剂辅助硅片表面金字塔的生长，增强各向异性腐蚀的各向异性因子，在硅表面形成良好的陷光结构，增大光在硅表面的光程，减低硅片反射率。 |
