一种铜表面钝化组合物、其用途及包含其的光刻胶剥离液
基本信息
| 申请号 | CN202111076657.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113921383A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113921383A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | H01L21/027（2006.01）I;C23C22/02（2006.01）I;C23C22/63（2006.01）I;C23G1/20（2006.01）I;C23G5/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 侯军;申海艳 | 申请（专利权）人 | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京至臻永信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭晓玲;张宝香 |
| 地址 | 324012浙江省衢州市杜鹃路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种铜表面钝化组合物，其包括4‑（2‑吡啶偶氮）间苯二酚和氨基葡萄糖衍生物，还涉及包含其的光刻胶剥离液和一种铜基板的清洗方法，所述铜表面钝化组合物具有良好的铜钝化保护性能，从而可用于半导体后道封装的凸块工艺中的光刻胶去除和铜表面钝化保护，在微电子技术领域具有良好的工业应用前景和推广潜力。 |
