一种用于晶圆加工的临时键合胶、其制备方法及用途
基本信息
| 申请号 | CN202111238937.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114149768A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114149768A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | C09J123/08（2006.01）I;C09J175/04（2006.01）I;C09J11/08（2006.01）I;C09J11/06（2006.01）I;C09J11/04（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 侯军;李传强 | 申请（专利权）人 | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 大连大工智讯专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 崔雪 |
| 地址 | 324012浙江省衢州市杜鹃路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于晶圆加工的临时键合胶、其制备方法及用途。本发明用于晶圆加工的临时键合胶包括质量份如下的各组分：聚合树脂0.1‑5份、增粘树脂20‑50份、增强剂1‑5份、增塑剂1‑5份、高沸点溶剂10‑50份、低沸点溶剂10‑30份、润湿剂0.5‑5份、抗氧化剂0.1‑0.5份。本发明还公开了所述用于晶圆加工的临时键合胶的制备方法及用途。本发明用于晶圆加工的临时键合胶是一种热稳定性高、抗化学腐蚀强、粘结力强、粘片均匀的临时键合胶，能广泛适用于晶圆加工。 |
