运动电极装置、可运动支架装置和应用

基本信息

申请号 CN201910893117.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112538618B 公开(公告)日 2022-02-22
申请公布号 CN112538618B 申请公布日 2022-02-22
分类号 C23C16/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 宗坚 申请(专利权)人 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 骆苏华
地址 214000江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一运动电极装置、可运动支架装置和应用,其中所述可运动支架装置包括可运动支架、载台和电极,其中所述可运动支架架能够带动所述载台绕第一轴线转动,并且所述载台被可自转地安装于所述可运动支架,其中所述电极被设置于所述可运动支架,以和所述可运动支架一同转动,并相于所述可运动支架放电,以有利于镀膜的均匀性。