镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201910893933.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112538617B | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN112538617B | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/513（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宗坚 | 申请（专利权）人 | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 骆苏华 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一镀膜设备，其中所述镀膜设备包括一反应腔体和一可运动支架装置，其中所述反应腔体具有一反应腔，其中所述可运动支架装置被容纳于所述反应腔，其中所述可运动支架装置包括至少一电极和一可运动支架，其中所述可运动支架相对于所述反应腔体可运动，其中至少一个所述电极被可跟随所述可运动支架一同运动地设置于所述可运动支架，其中至少一待镀膜工件适于被保持于所述可运动支架随着所述可运动支架运动。 |
