镀膜设备和应用
基本信息
| 申请号 | CN202080001813.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114072539A | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN114072539A | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宗坚 | 申请（专利权）人 | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 骆苏华 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一镀膜设备和应用，以供在待镀膜工件的表面镀膜，所述镀膜设备包括一电极装置和一反应腔体，其中所述反应腔体具有一反应腔、连通所述反应腔的至少一进料口和至少一抽气口，其中所述进料口位于所述反应腔体的靠近中间位置，其中所述抽气口位于所述反应腔体的侧面位置，其中所述电极装置在所述反应腔内放电，以供在该待镀膜工件的表面镀膜。 |
