真空腔门的补偿机构及真空设备
基本信息
| 申请号 | CN202122611451.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215947402U | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN215947402U | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宗坚;王志军 | 申请（专利权）人 | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张瑞;唐嘉 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市惠山区经济开发区玉祁配套区东环路182号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种真空腔门的补偿机构及真空设备，其中补偿机构包括：固定于真空腔门侧壁的铰链底座；固定于真空腔体侧壁且与铰链底座相对应的支撑底座；活动安装于支撑底座内且平行于第一方向的支撑杆，支撑杆可沿平行于第一方向的直线上往复运动；安装于铰链底座内且平行于第二方向的支撑轴，支撑轴与支撑杆转动连接，第一方向与第二方向垂直；以及安装于支撑底座内，且分别与支撑杆抵触接触的弹性体。由于支撑杆可沿平行于第一方向的直线上往复运动，因此在关闭真空腔门、以及抽真空时能够提供高补偿量，以实现安装误差可补偿、以及抽真空时真空腔门贴合度可补偿。而且操作简单，减少镀膜辅助调机时间，实现真空镀膜工艺的高可靠性。 |
