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一种电子皮肤及其制备方法

基本信息

申请号 CN201410770984.1 申请日 -
公开（公告）号 CN104523285B 公开（公告）日 2016-09-21
申请公布号 CN104523285B 申请公布日 2016-09-21
分类号 A61B5/22(2006.01)I;A61B5/01(2006.01)I 分类 医学或兽医学；卫生学;
发明人 刘萍 申请（专利权）人 深圳典邦科技有限公司
代理机构 深圳新创友知识产权代理有限公司 代理人 广东东邦科技有限公司
地址 523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区北部工业城C区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电子在皮肤及其制备方法，电子皮肤是在柔性基板上设有氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器，压力传感器和温度传感器分别位于柔性基板的两侧，氧化物薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，第一薄膜晶体管用于驱动压力传感器，第二薄膜晶体管用于驱动温度传感器。制备方法是在双面覆有导电材料的柔性基板上进行刻蚀、沉积形成氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器。本发明提供的电子皮肤，可以同时测量压力和温度，结构简单，工作电压低、功耗小、灵敏度高、传感器信号间的干扰小。