单晶炉循环水路结构
基本信息
| 申请号 | CN202022074021.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213835620U | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN213835620U | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | C30B11/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 瞿建强 | 申请（专利权）人 | 江阴市光科光电精密设备有限公司 |
| 代理机构 | 无锡义海知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王威钦 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市江阴市高新园区长山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉循环水路结构，包括设置在单晶炉外筒外侧壁上的进水部件及出水部件，进水部件其进水通道与下法兰上设置的法兰散热槽相连通，下法兰上的法兰散热槽与螺旋形的循环水路下端进水口相连通，循环水路上端出水口与单晶炉其上法兰上设置的法兰散热槽相连通，上法兰上的法兰散热槽与出水部件的出水通道相连通。本实用新型改进单晶炉其循环水路结构，将冷却循环水路延伸设计到上法兰及下法兰，增强单晶炉的散热效果，能够保证上法兰上的密封圈处于一个不高的工作温度，延长了密封圈的使用寿命及其密封效果。 |
