一种扩散泵冷阱
基本信息
| 申请号 | CN202021763467.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213823519U | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN213823519U | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | B01D8/00（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I;B01D53/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 瞿建强 | 申请（专利权）人 | 江阴市光科光电精密设备有限公司 |
| 代理机构 | 无锡义海知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王威钦 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市江阴市高新园区长山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散泵冷阱，包括冷阱法兰，冷阱法兰上固定设置若干圈锥形环状的散热环，散热环上绕设第一冷却水管，冷阱法兰侧面设有与第一冷却水管相连通的第一进水管及第一出水管，散热环上固定设置若干个超出散热环上边缘的延伸柱，延伸柱上绕设第二冷却水管，冷阱法兰侧面设有与第二冷却水管相连通的第二进水管及第二出水管。本冷阱增大了散热面积，设置两层冷却水管增强了冷却效果。本实用新型冷却效果更好，降低了油挥发到工作腔体内，保证真空腔体运行状态下其他成分的摄入。 |
