一种多头测温装置
基本信息
| 申请号 | CN202110634193.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113215648A | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN113215648A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | C30B11/00（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I;G01K1/14（2021.01）I;G01K3/14（2006.01）I;G01K7/02（2021.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 钱小波;唐飞;姜大朋;王庆国;苏良碧;贾健;许艳涛 | 申请（专利权）人 | 上海德硅凯氟光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海骁象知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵峰 |
| 地址 | 201802上海市嘉定区真南路4268号2幢J16043室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种多头测温装置，包括炉体和测温组件；炉体具有一炉腔；炉腔内设有保温层；保温层的内部为空心结构的保温腔；保温腔内设有坩埚和加热模块；测温组件包括多头测温环和第一升降机构；多头测温环设于炉体内；多头测温环安装于第一升降机构上，多头测温环上具有至少两个安装孔，每个安装孔内均安装有测温元件；坩埚安装于第二升降机构上；本发明通过在同一高度上，设多个测温点，可同时实现同一高度上的多点温度测量，通过升降机构的设置，使多头测温环可升降运动，从而能够实现在不同高度上的温度测量，保证在具有温度梯度分布的炉腔内，实现温度梯度变化的测量，以直观体现炉腔内轴向立体温场的动态变化。 |
