首页/ 上海德硅凯氟光电科技有限公司/ 专利详情

石墨等脆性坩埚内晶体取出工装

基本信息

申请号 CN202121020276.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214881937U 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN214881937U 申请公布日 2021-11-26
分类号 C30B35/00（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 唐飞;姜大朋;苏良碧;贾健 申请（专利权）人 上海德硅凯氟光电科技有限公司
代理机构 上海骁象知识产权代理有限公司 代理人 赵峰
地址 201802上海市嘉定区真南路4268号2幢J16043室
法律状态 -

摘要

摘要 一种石墨等脆性坩埚内晶体取出工装，包括坩埚固定工装和翻转工装，坩埚固定工装包括外壳体，外壳体为两端开口结构，外壳体上端通过螺栓固定安装有上封盖，外壳体内腔下方固定安装有支撑环形台，外壳体下端设置有下封盖，下封盖的上端面与支撑环形台相抵触；翻转工装包括台架，台架的一侧设置有放置平台，台架上端固定安装有两组轴承座，外壳体外部固定套接有固定外套件，固定外套件两侧表面中间均固定安装有转动轴，转动轴转动连接在两组轴承座内。本发明克服了现有技术的不足，在不损坏坩埚的情况下，能够将晶体从坩埚中完整取出。