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一种应用在血压计中的MEMS接触式力传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201410269666.7 申请日 -
公开（公告）号 CN105310669A 公开（公告）日 2016-02-10
申请公布号 CN105310669A 申请公布日 2016-02-10
分类号 A61B5/021(2006.01)I 分类 医学或兽医学；卫生学;
发明人 周浩楠;张威;苏卫国;李宋;陈广忠 申请（专利权）人 北京敏易联传感技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100871 北京市海淀区上地七街1号2号楼720室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种应用在血压计中的MEMS接触式力传感器及其制备方法。本发明的力传感器包括：衬底，键合体，接触体，应变膜和压阻条；其中，在衬底正面采用注入，褪火的方法形成压阻条。从衬底背面挖腔体，刻蚀出应变膜，应变膜正面粘合或键合一个可垂直面运动的接触体，接触体的触头不键合，并与应变膜面刚好接触，不施加外力。靠接触体与人体的上臂或者腕部皮肤接触，主动脉的振动，压力传递，使传感器的惠斯通桥路的变化，监测到脉冲信号，然后通过科学的算法来测定人体血压。从而在系统体积比较小的情况下可以测量较精确的接触式的微作用力，是一种体积相对较小、灵敏度高的传感器，在血压计等可穿戴医疗设备中有着极为广阔的应用前景。