一种用于真空镀膜的雾化装置

基本信息

申请号 CN202111203394.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113828466A 公开(公告)日 2021-12-24
申请公布号 CN113828466A 申请公布日 2021-12-24
分类号 B05B17/06(2006.01)I;B05B16/20(2018.01)I;C23C16/50(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 李小彭;姜翠宁 申请(专利权)人 洛阳生波尔真空装备有限公司
代理机构 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 彭国军;赵钊
地址 471822河南省洛阳市新安县洛新产业集聚区广深路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种用于真空镀膜的雾化装置,包括壳体和设于壳体内的雾化器本体,雾化器本体的两端分别设有通液接口和雾化喷头,通液接口用于通入供雾化器本体进行雾化的液态有机镀膜材料,雾化器本体上设有用于增压的增压接头。本发明先对液态有机镀膜材料的雾化,而后可以再对雾化后液态有机镀膜材料进行汽化,汽化后的有机镀膜材料可均匀地附着并涂覆于基材的表面上,成膜的过程在真空环境下完成,其适用范围广,可以获得较薄的镀膜层,也可以满足厚膜的需要,其均匀性容易控制,效率高,并且可以获得均匀性高和更高膜层性能的薄膜。