旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线
基本信息
| 申请号 | CN202020996802.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213172551U | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN213172551U | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 高文波;李小彭;张亚宁 | 申请（专利权）人 | 洛阳生波尔真空装备有限公司 |
| 代理机构 | 中山市捷凯专利商标代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 石仁 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市新安县洛新产业集聚区广深路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线，旋转镀膜机构包括可装夹基板工件的基片架，基片架上设置有可随基片架滑动的滚筒组件、以及带动滚筒组件转动的传动机构，滚筒组件包括转动本体，转动本体上设有用于支撑圆筒形工件的支撑部，圆筒形工件支撑于该支撑部上且可随转动本体相对基片架转动以实现真空镀膜。本申请在原有设备中增加可实现圆筒形工件镀膜的旋转镀膜机构，增加镀膜产品种类，既可在基片架上装夹大型平板，完成平板工件的镀膜，也可在滚筒组件上装设圆筒形工件，完成圆筒形工件的镀膜，可镀产品种类增加，提高设备利用率，减少企业投入多种设备，降低投资成本。 |
