高度自动补偿稳定测量装置

基本信息

申请号 CN202120255741.X 申请日 -
公开(公告)号 CN214099587U 公开(公告)日 2021-08-31
申请公布号 CN214099587U 申请公布日 2021-08-31
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈鹏;查进;阮开沧;曲东升;李长峰 申请(专利权)人 铭赛机器人科技(东莞)有限公司
代理机构 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 代理人 赵旭
地址 213100江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高度自动补偿稳定测量装置,包括:工件输送装置,工件输送装置上承载有工件;三维运动平台,三维运动平台设于工件输送装置的上方,三维运动平台上设有高度测量装置和视觉识别装置,高度测量装置和视觉识别装置在三维运动平台的驱动下在xy平面内活动;顶升机构,顶升机构设于工件的下方,顶升机构的一部分可沿z轴活动,以将工件顶起。本实用新型结构简单,通过将高度测量装置和视觉识别装置设置为在xy平面内活动,避免了高度方向的测量误差,同时利用顶升机构调节将工件顶起的高度,实现了高度自动补偿,检测与调试动作分离,相互之间不干扰,检测精度和加工效果得到提高。