一种电镜输入气路智能控制系统
基本信息
| 申请号 | CN202022607624.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213749676U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213749676U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G01N23/2206（2018.01）I;G01N30/02（2006.01）I;G05B19/05（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 任宪平;刘伟;刘岳峰;蒋倩;徐尚君;苗澍;黄兴;杨冰;吴卓克;杜霞茹 | 申请（专利权）人 | 大连凯特利催化工程技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 汪海 |
| 地址 | 116023辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及电镜辅助系统领域，具体地说是一种电镜输入气路智能控制系统，包括增湿罐、静态混合器、输出气路和多个输入气路，输入气路上设有管道隔膜阀、纯化柱、过滤器、入口压力表、减压器、出口压力表、第一质量流量计、流量计出口逆止阀和气路控制阀，各个输入气路的输出端均与一个中间管路相连，所述中间管路的输出端与静态混合器一侧相连，静态混合器另一侧与输出气路相连，且所述输出气路上设有电磁开关阀、电动调节阀和真空硅，静态混合器下端与排出气路相连，增湿罐设于任一输入气路与静态混合器之间。本实用新型减少占地空间，减小误差，减少调节步骤，节约调节时间，减少成本，可以按预定方案进行通气、冲洗、配比。 |
