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一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置

基本信息

申请号 CN201810959116.6 申请日 -
公开（公告）号 CN109193340B 公开（公告）日 2019-06-28
申请公布号 CN109193340B 申请公布日 2019-06-28
分类号 H01S5/183（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 罗玉辉; 程元红; 邝智豪; 黄逸生 申请（专利权）人 新亮智能技术（中山）有限公司
代理机构 广州市越秀区海心联合专利代理事务所（普通合伙） 代理人 深亮智能技术（中山）有限公司;新亮智能技术（中山）有限公司
地址 528400 广东省中山市火炬开发区东镇东一路32号3幢厂房一层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后按反应比例向点火装置通入氢气和氧气并点火燃烧，燃烧生成的水蒸汽通入加热炉，所述水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴露的高铝组分化合物发生反应，形成氧化物限制结构，即氧化铝绝缘层。本发明提供的方法以氢气和氧气燃烧产生水蒸汽通入放置有VCSEL激光器的加热炉中，实现高含铝层中铝的氧化。