一种垂直腔面发射激光器
基本信息
| 申请号 | CN201811477564.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109524878B | 公开（公告）日 | 2019-08-09 |
| 申请公布号 | CN109524878B | 申请公布日 | 2019-08-09 |
| 分类号 | H01S5/183;H01S5/187 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈柱元;罗玉辉 | 申请（专利权）人 | 新亮智能技术（中山）有限公司 |
| 代理机构 | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深亮智能技术（中山）有限公司;新亮智能技术（中山）有限公司 |
| 地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区东镇东一路32号3幢厂房一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括衬底，在衬底上依次层叠有基板、底部n型DBR反射镜、第一氧化限制层、n型引导间隔层、有源区层、p型渐变间隔层、第二氧化限制层、第一间隔层、第三氧化限制层、第二间隔层、第四氧化限制层、第三间隔层、第五氧化限制层、第四间隔层、第六氧化限制层、第五间隔层、第七氧化限制层、第六间隔层、第八氧化限制层、顶部p型DBR反射镜、p型接触层和p侧电极；在衬底远离基板的一面设有n侧电极。其优点在于：能够稳定实现单模运行，并且具有低光学损耗、低能耗和低寄生电容的优点。 |
