一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202010002979.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111162452A | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN111162452A | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | H01S5/183;F27B17/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 罗玉辉;程元红;何兵 | 申请（专利权）人 | 新亮智能技术（中山）有限公司 |
| 代理机构 | 广州海心联合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深亮智能技术（中山）有限公司 |
| 地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区东镇东一路32号3幢厂房一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后将水蒸汽以恒定流量由载气带入加热炉，水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴露的高铝组分化合物发生反应，形成氧化物限制结构，即氧化铝绝缘层。本发明还提供了提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的装置。本发明中的VCSEL湿法氧化用于反应的水蒸汽由恒定水流量的蒸汽发生装置产生，水蒸汽流量稳定且恒定，能够稳定控制氧化深度，提高氧化的均匀性和重复性，解决了现有方法中氮气携带水蒸汽的量不稳定导致氧化深度稳定性不易控制的问题。 |
