一种五分割背散射电子探测器
基本信息
| 申请号 | CN201821969904.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209471067U | 公开（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申请公布号 | CN209471067U | 申请公布日 | 2019-10-08 |
| 分类号 | G01N23/20008 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 皮晓宇 | 申请（专利权）人 | 上海欧波同仪器有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100061 北京市东城区龙潭路丙3号526室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种五分割背散射电子探测器，包括安装壳体，所述安装壳体的两侧外壁均开设有定位槽，且两个定位槽相互远离的一侧外壁均焊接有伸缩弹簧，所述安装壳体的顶部外壁设置有覆膜，且覆膜的底部两侧外壁均通过螺钉连接有固定板，所述固定板的一侧外壁通过螺纹连接有定位螺纹杆，且两个所述定位螺纹杆相互靠近的一侧外壁与伸缩弹簧远离安装壳体的一侧外壁滑动连接，所述覆膜的顶部外壁粘贴有等距离分布的硅片探测基板。本实用新型中，通过设置有五个硅片探测基板，能够可以对具有不同角度的背散射电子进行成像，此结构能够保证背散射电子探测器的对称性，且硅片探测基板之间间隙尽可能小，能够有效利用覆膜空间，降低成本。 |
