一种双探针桌面台式扫描电镜
基本信息
申请号 | CN201821973921.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209183500U | 公开(公告)日 | 2019-07-30 |
申请公布号 | CN209183500U | 申请公布日 | 2019-07-30 |
分类号 | H01J37/28;H01J37/02;H01J37/20;G01N23/2251 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 皮晓宇 | 申请(专利权)人 | 上海欧波同仪器有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 100061 北京市东城区龙潭路丙3号526室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种双探针桌面台式扫描电镜,包括底座盒,所述底座盒的顶部通过螺栓连接有主壳体,且主壳体的顶部通过螺栓连接有两个电子光学镜筒,所述主壳体的内部通过螺栓连接有隔离板,且主壳体内部通过隔离板分隔为两个样品室,两个所述样品室的两侧内壁均通过螺栓连接有电动导轨,且相邻的两个电动导轨之间通过导块连接有同一个载物台。本实用新型中,本装置中含有两个电子光学镜筒和样品室,在使用时,可以利用本装置同时对扫描样品和比对样品同时进行扫描,或同时应用于不同物质的扫描,显著的提高本装置的应用范围,可以有效的避免扫描电镜受到损坏,提高本装置的使用寿命。 |
