一种双探针桌面台式扫描电镜

基本信息

申请号 CN201821973921.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209183500U 公开(公告)日 2019-07-30
申请公布号 CN209183500U 申请公布日 2019-07-30
分类号 H01J37/28;H01J37/02;H01J37/20;G01N23/2251 分类 基本电气元件;
发明人 皮晓宇 申请(专利权)人 上海欧波同仪器有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100061 北京市东城区龙潭路丙3号526室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种双探针桌面台式扫描电镜,包括底座盒,所述底座盒的顶部通过螺栓连接有主壳体,且主壳体的顶部通过螺栓连接有两个电子光学镜筒,所述主壳体的内部通过螺栓连接有隔离板,且主壳体内部通过隔离板分隔为两个样品室,两个所述样品室的两侧内壁均通过螺栓连接有电动导轨,且相邻的两个电动导轨之间通过导块连接有同一个载物台。本实用新型中,本装置中含有两个电子光学镜筒和样品室,在使用时,可以利用本装置同时对扫描样品和比对样品同时进行扫描,或同时应用于不同物质的扫描,显著的提高本装置的应用范围,可以有效的避免扫描电镜受到损坏,提高本装置的使用寿命。