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一种运输晶圆的末端执行器及控制方法

基本信息

申请号 CN201811098858.0 申请日 -
公开（公告）号 CN109300833B 公开（公告）日 2021-03-05
申请公布号 CN109300833B 申请公布日 2021-03-05
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 赵宁;白富强 申请（专利权）人 上海新创达智能科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 冯健强
地址 201306上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种运输晶圆的末端执行器及控制方法，末端执行器包括基板，基板的第一端连接至机械臂，基板上远离第一端的第二端设有开口，开口的凹陷方向朝基板的第一端延伸；开口周围设有若干个吸附机构；吸附机构包括至少一个凹槽，凹槽的侧壁上设有至少一个出风口；基板还设有吹风机构，吹风机构通过通风道与吸附机构的出风口连通；气体自吹风机构抽入，通过通风道从出风口吹出，在凹槽内产生气旋，气体在凹槽内形成的气旋而形成低压，将晶圆吸附于末端执行器上；末端执行器还包括夹持装置，夹持装置用于夹持晶圆。本发明在抓取晶圆时，末端执行器与晶圆表面无接触，减小了对晶圆的污染和破坏，同时夹持装置可防止晶圆在运输晶圆时脱落。