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一种晶圆双面宏观观测装置及系统

基本信息

申请号 CN201920420088.0 申请日 -
公开（公告）号 CN210322751U 公开（公告）日 2020-04-14
申请公布号 CN210322751U 申请公布日 2020-04-14
分类号 G01N21/01(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 龚昱;詹翡纱;邱海洲 申请（专利权）人 上海新创达智能科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海新创达智能科技有限公司
地址 201306上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统，涉及晶圆检测技术领域。包括：基座，基座上设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘，翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上，翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板；翻转盘上设有旋转盘，旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘，旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线，翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构；旋转盘上设有开合机构，开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板，按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上；翻转盘上开设有第一观察开口，旋转盘上开设有第二观察开口。增加了晶圆观察时的可靠性。