一种洁净室专用晶圆自动上下料设备
基本信息
| 申请号 | CN202010802753.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111933561A | 公开（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申请公布号 | CN111933561A | 申请公布日 | 2020-11-13 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 龚昱;王伟忠;李耀孟;赵超;刘红军 | 申请（专利权）人 | 上海新创达智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海新创达智能科技有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种洁净室专用晶圆自动上下料设备，晶圆自动上下料设备包括上料机台，所述上料机台一侧设有缓存机台，缓存机台一侧设有下料机台，下料机台与上料机台左右对称，金属烤架前方设有RFID红外射频设备，安装框架一侧设有二维码读头，缓存组件包括镜像分布的晶圆缓存提升机构，晶圆缓存提升机构一侧设有入口导向装置，晶圆缓存提升机构之间设有皮带输送机构，皮带输送机构内设有晶圆定位对中机构，吸盘型真空抓手一端设有吸盘组件，晶圆预对准器上同样设有轴向分布的吸盘组件。本发明采用特殊的真空吸盘，预对准器上同样设有真空吸盘，设有多种工作模式，兼容多种晶圆料盒，能自动识别放置料盒种类，减少了人工误操作带来的风险。 |
