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一种晶圆抓取装置及控制方法

基本信息

申请号 CN201811096641.6 申请日 -
公开（公告）号 CN109244027B 公开（公告）日 2021-03-05
申请公布号 CN109244027B 申请公布日 2021-03-05
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 赵宁;白富强 申请（专利权）人 上海新创达智能科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 冯健强
地址 201306上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种晶圆抓取装置及控制方法，晶圆抓取装置包括：基板，基板的第一端连接至机械臂，基板上远离第一端的第二端设有开口，开口的凹陷方向朝基板的第一端延伸；开口周围设有若干个吸附机构；吸附机构包括至少一个凹槽，凹槽的侧壁上设有至少一个出风口；基板上还设有吹气机构，吹气机构通过通风道与吸附机构的出风口连通；气体自吹气机构进入，通过通风道传输至出风口处，并从出风口吹出，在凹槽内形成气旋，然后从凹槽的侧壁边沿流出，气体在凹槽内形成的气旋而产生低压，将晶圆吸附于晶圆抓取装置上。在抓取晶圆时，晶圆抓取装置与晶圆表面无接触，减小了对晶圆的污染和破坏。